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接液后，檢測液面。 由于覆蓋有氟樹脂，
因此，耐化學品性能優(yōu)異。
E32系列 特點 40 耐真空
可在10-5 Pa的高真空環(huán)境中使用。
備有耐熱溫度120°C型和200°C型。
E32系列 特點 42
FPD/半導體/太陽能電池行業(yè)
限定反射型
E32系列 特點 43 玻璃基板校準
檢測距離精度；0.2mm以下
距離發(fā)生變化，檢測位置也不會改變。
特點是抗傾斜性強。
E32系列 特點 45
玻璃基板映射
在難以檢測的R面也可穩(wěn)定檢測。
E32系列 特點 47
通過濕法工藝檢測玻璃的有無
無需接觸，玻璃即使有彎曲也可進行穩(wěn)定檢測。
采用球狀頭，可實現(xiàn)不受液體影響的穩(wěn)定檢測。
E32系列 特點 49
對射型 E32系列 特點 50 晶片映射
E32系列 特點 52 易于設置在機械臂上的薄型形狀。
光軸調(diào)整簡單（機械軸與光軸的偏差僅為±0.1Typ）
狹窄的晶片之間也可準確檢測晶片。
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