THK交叉滾子軸承技術(shù)RE15025CS

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將液晶基板與隔離片交互堆疊的裝置。在移載部使用

雙滑塊的GLM，在升降部使用KT。使用KT進(jìn)行多點(diǎn)

定位后，可通過獨(dú)立的滑塊實(shí)現(xiàn)高節(jié)拍的移載運(yùn)動。

使用（保存）溫度使用溫度0～+50℃　保存溫度–20～+85℃無凍結(jié)）

使用（保存）濕度90%RH以下（無結(jié)露）

耐振動/耐沖擊2 G（JIS C60068-2-6）/100 G（JIS C60068-2-27）

線路噪聲耐量1500 V　500 ns　共用模式、普通模式

電機(jī)吸引力 ：P=1232 [N]

LM滑塊滑動阻力 ：f＝3.7 [N]

LM滑塊數(shù)量 ：n=4（GLM20AP-S時(shí)）

通信功能RS-232C×1個(gè)端口：計(jì)算機(jī)軟件及數(shù)字操作面板連接、

狀態(tài)顯示（I/O）、參數(shù)設(shè)定、報(bào)警顯示、JOG動作

內(nèi)為無磁極傳感器規(guī)格時(shí)的滑座質(zhì)量。

※1 動作速度、加減速度等規(guī)格受負(fù)荷質(zhì)量的限制。

較大可搬送質(zhì)量為加速度約0.5G時(shí)可驅(qū)動的質(zhì)量。

※2 設(shè)定可搬送質(zhì)量為加速度約2G、到達(dá)較高速度1.0m/s時(shí)，

可在負(fù)載比50%下驅(qū)動一定行程的質(zhì)量。

但根據(jù)動作條件的不同，受推力和速度特性的影響，

可動作質(zhì)量可能會發(fā)生變化。

在激光移動部使用CSKR、GLM。通過使用無塵

系列的CSKR型和非接觸的極少發(fā)塵的GLM，可滿足無塵室的要求。

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