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YHSUNX晶圓定位傳感器M-DW1

YHSUNX晶圓定位傳感器M-DW1

  • 所屬分類(lèi):松下SUNX
  • 瀏覽次數(shù):
  • 發(fā)布日期:2019-12-11
  • 產(chǎn)品概述
  • 性能特點(diǎn)
  • 技術(shù)參數(shù)

  YHSUNX晶圓定位傳感器M-DW1

  型號(hào)M-DW1<NPN輸出>NPN開(kāi)路集電極晶體管

  使用環(huán)境溫度0+55℃(注意不可結(jié)露)、存儲(chǔ)時(shí):10+70℃

  適用晶圓盒SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開(kāi)放式晶圓盒

  反應(yīng)時(shí)間500μs以下投光停止輸入信號(hào)條件

  流入電流:100mA <PNP輸出>

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  檢測(cè)靈敏度切換:本體開(kāi)關(guān)2bit、4級(jí)或外部輸入的2級(jí)選擇式

  電源電壓1224V DC±10% 脈動(dòng)P-P10%以下

  受光面照明度3,000lx以下、熒光燈:受光面照明度1,500lx以下

  中心測(cè)量距離45mm消耗電流65mA以下

  電纜延長(zhǎng)0.15mm2 以上的電纜全長(zhǎng)可延長(zhǎng)至10m

  檢測(cè)角度12.5±5°(注4)

  投光:03V或9V+V(26.4V MAX.)

  可對(duì)應(yīng)檢測(cè)面有受光方向反射面的端面形狀的檢測(cè)面(注3)

  材質(zhì)外殼:ABS及SUS301、透鏡: 丙烯

  電纜0.15mm2 5芯橡皮電纜,長(zhǎng)300mm

  靈敏度設(shè)定背面教導(dǎo):按本體靈敏度設(shè)定按鈕運(yùn)行

  檢測(cè)物體3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)

  晶圓間距間距3mm以上時(shí),可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(cè)(注5)

  20MΩ以上,基于DC250V的高阻表

  使用環(huán)境濕度3585%RH、存儲(chǔ)時(shí): 3585%RH

  工作狀態(tài)指示燈橙色LED(輸出ON時(shí)亮起)

  絕緣電阻所有電源連接端子與外殼之間,

  PNP開(kāi)路集電極晶體管短路保護(hù)裝備(自動(dòng)復(fù)位)

  輸出NPN輸出/PNP輸出 可由切換開(kāi)關(guān)選擇

  輸入OFF:斷開(kāi)或48V投光元件LED(調(diào)制式)

  穩(wěn)定指示燈綠色LED(穩(wěn)定入光時(shí)、穩(wěn)定非入光時(shí)亮起點(diǎn)燈)

  輸出動(dòng)作可用切換開(kāi)關(guān)選擇入光時(shí)ON/非入光時(shí)ON

  定時(shí)器功能裝備約2ms固定斷開(kāi)延遲定時(shí)器 有效/無(wú)效切換式

  耐電壓AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間

  輸入ON :03V或9V+V(26.4V MAX.)

  保護(hù)構(gòu)造IP20(IEC)耐沖擊耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回

  投光停止:斷開(kāi)或48V靈敏度切換輸入信號(hào)條件

  使用環(huán)境照明度白熾燈:

  源電流:100mA外加電壓:30V DC以下(輸出和+V之間)

  耐振動(dòng)頻率10500Hz 雙振幅3mm X,Y和Z方向各2小時(shí)

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  FESTOVASB-30-1/8-PUR-B

  E+HFTW 325-A2A1A

  OPTO22SNAP-AOV-25

  OPTO22SNAP-AIV-i

  OPTO22SNAP-AOV-27

  OPTO22SNAP-ODC5R

  OPTO22SNAP-AITM-2

  ASCO8320G184 220VAC

  JOUCOMATIC52000063 24VDC

  YHSUNX晶圓定位傳感器M-DW1


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