松下顏色傳感器主要技術(shù)，GX-5SU

松下顏色傳感器主要技術(shù)，GX-5SU

采用聲波，透明薄膜、透明瓶等透明體也能檢測(cè)。

厚度16mm的薄型、緊湊機(jī)身。狹小空間也可輕松安裝。

只需變更控制輸入線(xiàn)的連接，即可輕松進(jìn)行吸音時(shí)ON/隔音時(shí)ON的動(dòng)作切換。

因?yàn)橐舨ㄊ菍⒖諝庾鳛槊浇檫M(jìn)行傳送的，存在局部性溫差，

M-DW1以反射光的位置來(lái)檢測(cè)，不管反射光量的多少都能檢測(cè)出玻璃晶圓。

氮化膜具有可吸收特定波長(zhǎng)光的性質(zhì)，吸收的波長(zhǎng)因氮化膜的厚度而不同。

因此，對(duì)于使用單波長(zhǎng)激光的傳感器，可能會(huì)因光全被吸收而無(wú)法檢測(cè)。

而LED光源的光具有一定波長(zhǎng)段，即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測(cè)。

實(shí)現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。兼顧高速反應(yīng)性和。

利用反射光量檢測(cè)時(shí)，反射光量和晶圓的邊緣形狀會(huì)影響檢測(cè)結(jié)果。

M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過(guò)反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測(cè)。

因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。

傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、下方四個(gè)方向引出電纜?？筛鶕?jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。

尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進(jìn)深50mm，質(zhì)量約為75g的小巧、輕盈型。

安裝傳感器時(shí)，請(qǐng)使晶圓端面與傳感器檢測(cè)面之間的距離為45mm，

并且可12.5°傾斜檢測(cè)晶圓。安裝時(shí)，使用M4(長(zhǎng)度：16mm)螺絲，

緊固扭矩控制在1.2N?m以下。并且，晶圓的位置偏差(突出或凹陷等)會(huì)導(dǎo)致檢測(cè)距離變

化，但是如果誤差在5mm范圍內(nèi)，也可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定檢測(cè)。

晶圓的中心軸與傳感器軸在一直線(xiàn)上(0°)將無(wú)法檢測(cè)。

在空氣對(duì)流較為的場(chǎng)所（門(mén)和空調(diào)的附近等）

下會(huì)發(fā)生檢測(cè)不穩(wěn)定的情況，所以請(qǐng)避開(kāi)這類(lèi)場(chǎng)所進(jìn)行使用。

附近有金屬碰撞等外界干擾音的情況下，會(huì)發(fā)生誤操作的可能性所以請(qǐng)引起注意。

原則上請(qǐng)使用 大靈敏度。但是由于受到周?chē)矬w的影響，

在 大靈敏度下發(fā)生不良的話(huà)（周?chē)矬w反射等），請(qǐng)進(jìn)行調(diào)整。

檢測(cè)軸側(cè)面物體的影響靠近檢測(cè)軸處有墻面和振動(dòng)板時(shí)，通過(guò)反射會(huì)產(chǎn)生動(dòng)作不穩(wěn)定的情況。

發(fā)生下圖的情況下，受到背景物體等的影響，會(huì)發(fā)生動(dòng)作不穩(wěn)定的情況。

將檢測(cè)物遠(yuǎn)離接收器，如下圖所示請(qǐng)以檢測(cè)物體表面為準(zhǔn)做角度傾斜調(diào)整。

鄰接2臺(tái)以上傳感器的情況下，由于相互干擾，通常會(huì)發(fā)生聲音進(jìn)入狀態(tài)的情況。

小檢測(cè)物體寬度在靜止?fàn)顟B(tài)下是20×20mm。

移動(dòng)物體與移動(dòng)速度及傳感器応答時(shí)間有關(guān)系，那些關(guān)聯(lián)通過(guò)以下方式體現(xiàn)。

小檢測(cè)物體寬度(m)物體的流程速度(m/s)

傳感器的應(yīng)答時(shí)間＝0.005(s)靜止?fàn)顟B(tài)下的小檢測(cè)物體寬度＝0.02(m)

請(qǐng)避開(kāi)接通電源時(shí)的過(guò)度狀態(tài)（50ms）進(jìn)行使用。

發(fā)送器，接收器元件注意不要直接接觸到水和灰塵。會(huì)對(duì)檢測(cè)性能產(chǎn)生影響。

以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會(huì)從加載口內(nèi)側(cè)穿過(guò)FOUP直射操作人員，危險(xiǎn)。

M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。

檢測(cè)帶定位邊晶圓時(shí)，傳感器的安裝必須確?？蓹z測(cè)定位邊以外的位置。

為了從不同的角度兩次檢測(cè)晶圓，請(qǐng)?jiān)O(shè)定機(jī)械臂等的動(dòng)作，對(duì)檢測(cè)信號(hào)的結(jié)果進(jìn)行OR處理。

檢測(cè)8英寸以下的晶圓時(shí)，可能會(huì)因晶圓間距、定位邊或表面的狀態(tài)等而影響檢測(cè)。

對(duì)于經(jīng)研磨后厚度變薄的晶圓，如果其端面呈刀刃狀，可能會(huì)因光線(xiàn)不能從檢測(cè)面向受光方向反射而難以檢測(cè)。

將外部靈敏度切換輸入(紫)設(shè)為0～3V或9V～+V(26.4VMAX.)，

則外部靈敏度切換輸入ON；設(shè)為斷開(kāi)或4～8V，則外部靈敏度切換輸入OFF。

通過(guò)外部靈敏度切換輸入切換靈敏度時(shí)，如下表所示設(shè)定靈敏度切換開(kāi)關(guān)。

本產(chǎn)品為不易受背景影響的光學(xué)部件，但是在檢測(cè)小口徑晶圓等時(shí)可能會(huì)受背景的影響。

因此，在晶圓盒中無(wú)晶圓的狀態(tài)下檢測(cè)背景、穩(wěn)定指示燈(綠色)熄滅時(shí)，

需要設(shè)定靈敏度以避免背景的影響。但是，一旦設(shè)定靈敏度，靈敏度將會(huì)下降。

已設(shè)靈敏度將保存在EEPROM中，重新接通電源不必重新設(shè)定。

但是，EEPROM壽命有限，寫(xiě)入次數(shù)為10萬(wàn)次，請(qǐng)注意。

將外部投光停止輸入(粉紅色)設(shè)為0～3V或9V～＋V(26.4VMAX.)時(shí)投光停止。此時(shí)輸出為非入光狀態(tài)。

不同的傳感器輸出的檢測(cè)信號(hào)如下所示。輸出寬度大于晶圓厚度的寬幅信號(hào)。

檢測(cè)信號(hào)的寬度隨檢測(cè)端面的光反射率而變化。高反射率(拋光、鋁蒸鍍等)：檢測(cè)信號(hào)寬度大

晶圓厚度t＝0.6mm→檢測(cè)信號(hào)寬度 約1.5mm反射率(氮化膜、氧化膜處理等)：檢測(cè)信號(hào)寬度小

晶圓厚度t＝0.6mm→檢測(cè)信號(hào)寬度 約1.1mm檢測(cè)信號(hào)的寬度隨檢測(cè)距離和檢測(cè)角度而變化。

安裝傳感器時(shí)，必須將傳感器與晶圓保持相對(duì)傾斜。

請(qǐng)務(wù)必在切斷電源的狀態(tài)下進(jìn)行配線(xiàn)作業(yè)。

配線(xiàn)錯(cuò)誤會(huì)導(dǎo)致故障。請(qǐng)確認(rèn)電源的波動(dòng)，以免電源輸入過(guò)額定范圍。

使用市售的開(kāi)關(guān)調(diào)節(jié)器時(shí)，請(qǐng)務(wù)必將電源的框架式接地(F.G.)端子接地。

在傳感器安裝部周?chē)褂米鳛楦蓴_發(fā)生源的設(shè)備(開(kāi)關(guān)調(diào)節(jié)器、

變頻馬達(dá)等)時(shí)，請(qǐng)務(wù)必將設(shè)備的框架式接地(F.G.)端子接地。

延長(zhǎng)電纜時(shí)，可通過(guò)截面積為0.15mm2以上的電纜將全長(zhǎng)延長(zhǎng)至10m。不過(guò)，為避免噪音，請(qǐng)盡量縮短配線(xiàn)。

請(qǐng)避免與高壓線(xiàn)和動(dòng)力線(xiàn)并行配線(xiàn)，或使用同一配線(xiàn)管，否則會(huì)因電磁感應(yīng)而導(dǎo)致誤動(dòng)作。

直流電源請(qǐng)務(wù)必使用絕緣變壓器。使用自動(dòng)變壓器(自耦變壓器)時(shí)，有時(shí)會(huì)損壞本體和電源。

使用電源發(fā)生電涌時(shí)，請(qǐng)將發(fā)生源與電涌吸收器連接，以吸收電涌。

使用時(shí)，請(qǐng)避開(kāi)電源接通時(shí)的過(guò)渡狀態(tài)(0.5s)。

快速起動(dòng)式、高頻點(diǎn)亮式熒光燈的光束會(huì)給檢測(cè)造成影響。

雖然因傳感器類(lèi)型而有所差異，但還應(yīng)注意不要使光束直接投射到傳感器上。

請(qǐng)勿在蒸氣、灰塵等較多的場(chǎng)所使用。請(qǐng)勿使產(chǎn)品和稀釋劑等有機(jī)溶劑或水、

油以及油脂直接接觸。并且避免在上述環(huán)境中使用。

注意避免使傳感器的檢測(cè)面上沾染灰塵等。否則會(huì)導(dǎo)致誤動(dòng)作。

如有灰塵，請(qǐng)用壓縮空氣吹掃或用軟布小心擦拭干凈。

松下顏色傳感器主要技術(shù)，GX-5SU