松下顏色傳感器主要技術(shù),GX-5SU
采用聲波,透明薄膜、透明瓶等透明體也能檢測(cè)。
厚度16mm的薄型、緊湊機(jī)身。狹小空間也可輕松安裝。
只需變更控制輸入線的連接,即可輕松進(jìn)行吸音時(shí)ON/隔音時(shí)ON的動(dòng)作切換。
因?yàn)橐舨ㄊ菍⒖諝庾鳛槊浇檫M(jìn)行傳送的,存在局部性溫差,
M-DW1以反射光的位置來檢測(cè),不管反射光量的多少都能檢測(cè)出玻璃晶圓。
氮化膜具有可吸收特定波長(zhǎng)光的性質(zhì),吸收的波長(zhǎng)因氮化膜的厚度而不同。
因此,對(duì)于使用單波長(zhǎng)激光的傳感器,可能會(huì)因光全被吸收而無法檢測(cè)。
而LED光源的光具有一定波長(zhǎng)段,即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測(cè)。
實(shí)現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。兼顧高速反應(yīng)性和。
利用反射光量檢測(cè)時(shí),反射光量和晶圓的邊緣形狀會(huì)影響檢測(cè)結(jié)果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件,通過反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測(cè)。
因此,受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、下方四個(gè)方向引出電纜??筛鶕?jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。
尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進(jìn)深50mm,質(zhì)量約為75g的小巧、輕盈型。
安裝傳感器時(shí),請(qǐng)使晶圓端面與傳感器檢測(cè)面之間的距離為45mm,
并且可12.5°傾斜檢測(cè)晶圓。安裝時(shí),使用M4(長(zhǎng)度:16mm)螺絲,
緊固扭矩控制在1.2N?m以下。并且,晶圓的位置偏差(突出或凹陷等)會(huì)導(dǎo)致檢測(cè)距離變
化,但是如果誤差在5mm范圍內(nèi),也可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定檢測(cè)。
晶圓的中心軸與傳感器軸在一直線上(0°)將無法檢測(cè)。
在空氣對(duì)流較為的場(chǎng)所(門和空調(diào)的附近等)
下會(huì)發(fā)生檢測(cè)不穩(wěn)定的情況,所以請(qǐng)避開這類場(chǎng)所進(jìn)行使用。
附近有金屬碰撞等外界干擾音的情況下,會(huì)發(fā)生誤操作的可能性所以請(qǐng)引起注意。
原則上請(qǐng)使用 大靈敏度。但是由于受到周圍物體的影響,
在 大靈敏度下發(fā)生不良的話(周圍物體反射等),請(qǐng)進(jìn)行調(diào)整。
檢測(cè)軸側(cè)面物體的影響靠近檢測(cè)軸處有墻面和振動(dòng)板時(shí),通過反射會(huì)產(chǎn)生動(dòng)作不穩(wěn)定的情況。
發(fā)生下圖的情況下,受到背景物體等的影響,會(huì)發(fā)生動(dòng)作不穩(wěn)定的情況。
將檢測(cè)物遠(yuǎn)離接收器,如下圖所示請(qǐng)以檢測(cè)物體表面為準(zhǔn)做角度傾斜調(diào)整。
鄰接2臺(tái)以上傳感器的情況下,由于相互干擾,通常會(huì)發(fā)生聲音進(jìn)入狀態(tài)的情況。
小檢測(cè)物體寬度在靜止?fàn)顟B(tài)下是20×20mm。
移動(dòng)物體與移動(dòng)速度及傳感器応答時(shí)間有關(guān)系,那些關(guān)聯(lián)通過以下方式體現(xiàn)。
小檢測(cè)物體寬度(m)物體的流程速度(m/s)
傳感器的應(yīng)答時(shí)間=0.005(s)靜止?fàn)顟B(tài)下的小檢測(cè)物體寬度=0.02(m)
請(qǐng)避開接通電源時(shí)的過度狀態(tài)(50ms)進(jìn)行使用。
發(fā)送器,接收器元件注意不要直接接觸到水和灰塵。會(huì)對(duì)檢測(cè)性能產(chǎn)生影響。
以往使用激光的激光式定位傳感器,激光會(huì)從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員,危險(xiǎn)。
M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。
檢測(cè)帶定位邊晶圓時(shí),傳感器的安裝必須確??蓹z測(cè)定位邊以外的位置。
為了從不同的角度兩次檢測(cè)晶圓,請(qǐng)?jiān)O(shè)定機(jī)械臂等的動(dòng)作,對(duì)檢測(cè)信號(hào)的結(jié)果進(jìn)行OR處理。
檢測(cè)8英寸以下的晶圓時(shí),可能會(huì)因晶圓間距、定位邊或表面的狀態(tài)等而影響檢測(cè)。
對(duì)于經(jīng)研磨后厚度變薄的晶圓,如果其端面呈刀刃狀,可能會(huì)因光線不能從檢測(cè)面向受光方向反射而難以檢測(cè)。
將外部靈敏度切換輸入(紫)設(shè)為0~3V或9V~+V(26.4VMAX.),
則外部靈敏度切換輸入ON;設(shè)為斷開或4~8V,則外部靈敏度切換輸入OFF。
通過外部靈敏度切換輸入切換靈敏度時(shí),如下表所示設(shè)定靈敏度切換開關(guān)。
本產(chǎn)品為不易受背景影響的光學(xué)部件,但是在檢測(cè)小口徑晶圓等時(shí)可能會(huì)受背景的影響。
因此,在晶圓盒中無晶圓的狀態(tài)下檢測(cè)背景、穩(wěn)定指示燈(綠色)熄滅時(shí),
需要設(shè)定靈敏度以避免背景的影響。但是,一旦設(shè)定靈敏度,靈敏度將會(huì)下降。
已設(shè)靈敏度將保存在EEPROM中,重新接通電源不必重新設(shè)定。
但是,EEPROM壽命有限,寫入次數(shù)為10萬次,請(qǐng)注意。
將外部投光停止輸入(粉紅色)設(shè)為0~3V或9V~+V(26.4VMAX.)時(shí)投光停止。此時(shí)輸出為非入光狀態(tài)。
不同的傳感器輸出的檢測(cè)信號(hào)如下所示。輸出寬度大于晶圓厚度的寬幅信號(hào)。
檢測(cè)信號(hào)的寬度隨檢測(cè)端面的光反射率而變化。高反射率(拋光、鋁蒸鍍等):檢測(cè)信號(hào)寬度大
晶圓厚度t=0.6mm→檢測(cè)信號(hào)寬度 約1.5mm反射率(氮化膜、氧化膜處理等):檢測(cè)信號(hào)寬度小
晶圓厚度t=0.6mm→檢測(cè)信號(hào)寬度 約1.1mm檢測(cè)信號(hào)的寬度隨檢測(cè)距離和檢測(cè)角度而變化。
安裝傳感器時(shí),必須將傳感器與晶圓保持相對(duì)傾斜。
請(qǐng)務(wù)必在切斷電源的狀態(tài)下進(jìn)行配線作業(yè)。
配線錯(cuò)誤會(huì)導(dǎo)致故障。請(qǐng)確認(rèn)電源的波動(dòng),以免電源輸入過額定范圍。
使用市售的開關(guān)調(diào)節(jié)器時(shí),請(qǐng)務(wù)必將電源的框架式接地(F.G.)端子接地。
在傳感器安裝部周圍使用作為干擾發(fā)生源的設(shè)備(開關(guān)調(diào)節(jié)器、
變頻馬達(dá)等)時(shí),請(qǐng)務(wù)必將設(shè)備的框架式接地(F.G.)端子接地。
延長(zhǎng)電纜時(shí),可通過截面積為0.15mm2以上的電纜將全長(zhǎng)延長(zhǎng)至10m。不過,為避免噪音,請(qǐng)盡量縮短配線。
請(qǐng)避免與高壓線和動(dòng)力線并行配線,或使用同一配線管,否則會(huì)因電磁感應(yīng)而導(dǎo)致誤動(dòng)作。
直流電源請(qǐng)務(wù)必使用絕緣變壓器。使用自動(dòng)變壓器(自耦變壓器)時(shí),有時(shí)會(huì)損壞本體和電源。
使用電源發(fā)生電涌時(shí),請(qǐng)將發(fā)生源與電涌吸收器連接,以吸收電涌。
使用時(shí),請(qǐng)避開電源接通時(shí)的過渡狀態(tài)(0.5s)。
快速起動(dòng)式、高頻點(diǎn)亮式熒光燈的光束會(huì)給檢測(cè)造成影響。
雖然因傳感器類型而有所差異,但還應(yīng)注意不要使光束直接投射到傳感器上。
請(qǐng)勿在蒸氣、灰塵等較多的場(chǎng)所使用。請(qǐng)勿使產(chǎn)品和稀釋劑等有機(jī)溶劑或水、
油以及油脂直接接觸。并且避免在上述環(huán)境中使用。
注意避免使傳感器的檢測(cè)面上沾染灰塵等。否則會(huì)導(dǎo)致誤動(dòng)作。
如有灰塵,請(qǐng)用壓縮空氣吹掃或用軟布小心擦拭干凈。
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