銷售寶帝式傳感器250600-05-G-00-3-3-BBB
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即使流量很小時(shí)也是如此。與 CMOS 傳感器一樣,
工作原理:控制加熱電阻 (RS) 和測(cè)量電阻 (RT) 之間
該式傳感器為 CTA(恒溫風(fēng)速計(jì))
兩個(gè)溫度相關(guān)的電阻纏繞在不銹鋼毛
細(xì)管上,構(gòu)成半個(gè)惠斯頓電橋。
管道。而主要區(qū)別在于:毛細(xì)管傳感器不與介質(zhì)直接接觸。
另外三個(gè)電阻位于氣體通道之外。這
所以當(dāng)設(shè)定值或?qū)嶋H值變化時(shí),該傳感
毛細(xì)管傳感器也是采用層流元件來產(chǎn)生壓差,使小部分流量進(jìn)入旁路
電壓差即可用于測(cè)量旁路通道內(nèi)流過芯片的氣體的質(zhì)量流量。
傳感器可用于未經(jīng)標(biāo)定的氣體:
的 MFC 具有100 ms 的響應(yīng)時(shí)間,且靈敏度高,
其線性關(guān)系甚至使該
五個(gè)電阻連接成一個(gè)測(cè)量電橋。氣體通道中的一個(gè)電阻 (RT)
測(cè)量介質(zhì)溫度,另一個(gè)阻值電阻
(RS) 不斷被加熱,使其與介質(zhì)溫度(由 RT 測(cè)得)
。由于加熱電阻和測(cè)量電阻都直接位于氣體通道內(nèi),
通過采用一個(gè)轉(zhuǎn)換因子對(duì)當(dāng)前介質(zhì)的測(cè)量值進(jìn)行修正。這樣就可
的硅芯片,用于測(cè)量流量。采用 CMOS 傳感器技術(shù),
在這塊膜上有一個(gè)加熱電阻和兩個(gè)對(duì)稱的
溫度傳感器(分別位于上游和下游)。
如使加熱電阻保持在一個(gè)恒定溫度,則兩個(gè)溫度傳感器的
管道中的層流元件產(chǎn)生一個(gè)必需的壓差,
使小部分流量進(jìn)入旁路管道。旁路管道內(nèi)壁上裝有帶膜
電阻的差值成正比。因此該輸出電壓與流過的氣體的質(zhì)量流量成線性關(guān)系。
保持一個(gè)恒定的溫差。這兩個(gè)電阻都直接位于氣體通道內(nèi);
簡(jiǎn)化標(biāo)定,同時(shí)正確選擇傳感器材質(zhì)可確保毛細(xì)管傳感器適用于腐蝕性氣體。
與在主管道中進(jìn)行測(cè)量的式傳感器不同,
這時(shí),R1 的阻值下降,而 R2 的阻值上升。
如果給電橋提供恒定的電流,其輸出電壓就與這兩個(gè)
CMOS 傳感器是在旁路管道中進(jìn)行測(cè)量的。主
其中之一就是對(duì)于流量變化的響應(yīng)極快。帶 CMOS 傳感器
接接觸,因此具有許多特定的YS,
之間始終保持一個(gè)恒定的溫差。所需的加熱電
該溫度傳感器的熱量、與介質(zhì)直
流即用于測(cè)量流過該氣體通道的氣體流量。
MFC 中合適的流量調(diào)節(jié)確保其所測(cè)得的質(zhì)量流量非常
器的響應(yīng)時(shí)間極短,只有幾百毫秒。
該傳感器的動(dòng)態(tài)特性取決于不銹鋼毛細(xì)管的管壁特性,
它起著熱障的作用。毛細(xì)管傳感器的
此外,該傳感器的結(jié)構(gòu)確保其不易受污染物的影響。
當(dāng)氣體流過毛細(xì)管時(shí),就會(huì)帶走一部分熱量,流向?yàn)閺?R1 至 R2。
響應(yīng)時(shí)間通常為幾秒,適用于大多數(shù)腐蝕性或毒性氣體。
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