smc平穩(wěn)出氣閥XVD2-02V

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保持旋轉的初始供氣調節(jié)螺母r以右側，小可能

初始空氣供給流量是在該點銘牌和調整

螺母標記對齊接近的地方扭矩感受。 （注意不要

收緊初始空氣供應調節(jié)螺母4進一步過這一點上，

因為這可能會導致部件損壞。）

確認初始空氣供應調節(jié)螺母r的位置之后

和初始空氣供給刻度板！7的角度對準刻度，

通過旋轉螺母向左調整初始空氣供給量。據

以“轉數和流動特性”作為

示出，設置初始空氣供給流動。通過擰緊設置，鎖定后

初始空氣供給鎖螺絲！50.5 N·cm的扭矩。

閥門/針型閥集成建設 - 需要以

前只有1/4的管道空間模型。

通過切換到主閥電路，主閥門

打開，全量被引入到室中。

用平頭螺絲刀輕輕轉動初始供氣鎖

螺絲！5要左側，放松它，直到它停止。

顆粒顯著減少通過使用一個金屬膜片的板部分

雙方初的送風氣流和主供氣能進行調整。

返回時，引入一次性全部供給壓力

（清潔的空氣/ N2）的全部金額

在真空室中的氣氛會引起微粒就可以進入

室。為了防止這種情況，以后慢慢

引入的初始空氣供給和設置

的壓力，切換到主閥回路供給的全部金額。

在初始狀態(tài)下，所述子閥打開和設

置金額（針閥）緩慢供給入腔室。

通過在片材部分使用金屬膜片的微粒顯著降

的兩個初始空氣供應和主空氣供給量可以調節(jié)。

省空間閥門/針型閥集成建設 - 要求

只有1/4的管道空間以前的型號。

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